集成传感器是将敏感元件.测量电路和各种补偿元件等集成在.块芯片 上，具有体 积小、重量轻.功能强和性能好的特点。目前广泛应用的集成传感器有集成温度传感器、集成压力传感器、集成霍尔传感器等。若将几种不同的敏感元件集成在一个芯片上，可以制成多功能传感器，可同时测量多种参数。

智能传感器(smart sensor)是在集成传感器的基础上发展起来的，是一种装 有微处理器的、能够进行信息处理和信息存储以及逻辑分析判断的传感器系统。智能传感器利用集成或混合集成的方式将传感器信号处理电路和微处理器集成为一个整体。

智能传感器是20世纪80年代末由美国字航局在宇宙飞船开发过程中产生的。字航员的生活环境需要有检测湿度气压、空气成分和微量气体的传感器，宇宙飞船需要有检测速度.加速度、位移、位置和姿态的传感器，要使这些大量的观测数据不丢失，并降低成本，必须有能实现传感器与计算机体化的智能传感器。

智能传感器与传统传感器相比,具有如下几个特点:

(1)具有自动调零和自动校准功能.

(2)具有判断和信息处理功能,对测量值进行各种修正和误差补偿。它利用微处理器的运算能力，编制适当的处理程序，可完成线性化求平均值等数据处理工作。另外，它可根据工作条件的变化,按照定的公式自动计算出修正值,提高测量的准确度。

(3)实现多参数综合测量。通过多路转换器和A/D转换器的结合,在程序控制下，任意选择不同参数的测量通道，扩大了测量和使用范围。

(4)自动诊断故障。在微处理器的控制下,它能对仪表电路进行故障诊断,并自动显示故障部位。

(5)具有数字通信接口,便于与计算机联机。

智能传感器系统可以由儿块相互独立的模块电路与传感器装在同一壳体 里，也可以把传感器、信号调理电路和微处理器集成在同芯片上,还可以采用与制造集成电路同样的化学加工工艺，将微小的机械结构放人芯片,使它具有传感器、执行器或机械结构的功能。例如，将半导体力敏元件、电桥线路、前置放大器、A/D转换器、微处理器、接口电路、存储器等分别分层地集成在一块硅片上,就构成了一体化集成的智能压力传感器。