采用粉末样品压片制样，用偏振能量色散X-射线荧光光谱仪对水系沉积物和土壤样品中多种元素进行测定。除Na, Si和Fe外，其余元素利用经验系数和二级靶的康普顿散射线作内标校正基体效应。分别来用了Al₂O₃，W，BaF₂,CsI,Ag,Rb，Mo，Zr,SrF₂,KBr,Ge,Fe,Ti和Al等不同偏振靶(或二级靶)对被分析元素进行选择激发和测定。在总测量时间为2 000s(每个样品)的条件下，除Na，Mg，Al，Si，P，K等轻元紊外，其余各元素的检出限达到0.25一14.80μg/ g。

X一射线荧光光谱(XRF)分析方法具有试样制备简单、能进行多元素测定、分析速度快、重现性好、成本低和非破坏测定的优点，成为化探样品中多元素分析的有效方法之一。在20世纪80年代1:20万化探样品的39种元素分析中，XRF法独立分析24种元素，形成了以该法为主体的化探样品分析系统。

与波长色散X-射线荧光光谱仪(WDXRF)相比，能量色散X-射线荧光光谙仪（EDXRF)，因其受探测量器能量分辨率的限制，用普通的X-射线管激发的常规EDXRF的峰背比较低，检出限较差，特别是在地质领域分析中，应用较少。而Epsilon5偏振能量色散X-射线荧光光谱仪，采用偏振激发样品，并将探测器放在X-射线偏振面内垂直于X-射线入射方向上，大大地降低了由散射X-射线产生的背景。同时，多达15个偏振靶，可以实现元素的选择激发，提高峰背比，显著改善了元素的检出限。本文研究了用偏振激发EDXRF分析水系沉积物和土壤样品中多种元素。